ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8H-U 产品型号：U8H-U 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵，可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 可与 CTI 的 CT-8 互换。 高氢气泵送能力。 多台操作（ 多 3 台） 超高真空（10-8 Pa或更低） 产品介绍. ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8H-U 抽速(20°) 氮 升/秒 1,700 氢 2,700 氩气 1,400 水 4,000 极限压力 帕(托) 10 -7 (10 -9 ) 吞吐量 氩气 帕・升/秒(托・升/秒) 1.2×10 3 (8.9) 氢 2.4×10 2 (1.8) 泵送能力 氩气 帕・升(托・升) 1.0×10 8（7.6×10 5） 氢 1.0×10 6 (7.6×10 3 ) 冷却时间 小值(Hz) 100/90(50/60) 安装法兰 UVG-200,6 B ANSI,UFC-253 压缩机组 C10T,C10AT 低温泵重量 公斤 20.8 *维护间隔：每16,000小时