ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8HSP 爱发科 产品型号：U8HSP 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵，可进行高真空排​​气。根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征适用于溅射工艺。氩气置换量约为传统型号（U8H）的2.5倍。氢气排气率提高至传统型号（U8H）的约1.2倍。播放间隔变得更长，有助于提高设备的可用性。多台操作（最多 3 台）规格 产品介绍. ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8HSP 爱发科 抽速(20℃) 氮 升/秒 1,700 氢 3,200 氩气 1,400 水 4,000 极限压力 帕(托) 10 -7 (10 -9 ) 流速 氩气 帕・升/秒(托・升/秒) 1.2×10 3 (8.9) 氢 2.4×10 2 (1.8) 泵送能力 氩气 帕・升(托・升) 2.5×10 8 (1.9×10 6 ) 氢 1.0×10 6 (7.8×10 3 ) 冷却时间 （电源循环） 小值(Hz) 125/115(50/60) 安装法兰 UVG-200,6 B ANSI,UFC-253 压缩机组 C10T,C10AT 公斤 33.2