名称（Name）

Vacuum Plasma system真空等离子清洗机

型号（Model）

DSX- VPD-8L-S

技术参数(Technical Parameter)

备注(Remarks)

1

控制系统

(Control system)

PLC+HMI

Mitsubishi

2

真空泵

Vacuum Pump

旋片式真空泵

Rotary vacuum pump

TVP

3

等离子发生系统

Plasma generator

射频电源 0-1000w+全网络自动匹配器

RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network

KVMEN

4

真空监控系统Vacuum Guage

皮拉尼电阻式真空计

Pirani resistance vacuum gauge

Ulvac

5

气体流量控制系统Mass Flow Control

质量流量控制器

MFC control system

ETON

6

气体控制系统

Gas control system

二通电磁阀控制

2 Channel solenoid valve control

SMC

7

抽真空控制系统Vacuum output control

高真空气动挡板阀 GDW-KF40

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40

ISO standard

8

破真空控制系统Vacuum breaking control

高真空气动挡板阀 GDW-KF16

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve

ISO standard

9

电极层数

Electrode Layer

水平电极板 8 层(层数可选)

8 Layers of horizontal electrode plate（Option）

AL6061-L

10

有效处理面积

Effective treatment area

300mm（D）*400mm（W）

Option

11

工艺气体通道

Process gas channel

两路工作气体可选择：AR O2 N2 H2 CF4 等

2 channels process gases option: AR O2

Option

12

腔体规格

Chamber Size

450mm(W)*450mm(D)*400mm(H)

AL-6061-L

13

整机外形尺寸

Layout Size

995mm（W）*1085mm（D）*1750mm（H）

名称（Name）

Vacuum Plasma system

型号（Model）

DSX-VPO-8L-S

技术参数(Technical parameters)

备注Remarks

1

设备电源Power supply

3P : 380VAC 50/60Hz

2

设备功率Power KW

5.7KW

3

工作真空度

Working vacuum point

10-100Pa

4

抽真空时间

Vacuum output time

≤100s

5

破真空时间

Vacuum breaking time

≤30s

6

射频电源功率

RF Power KW

0-1000W

7

机台重量Weight

≤500KG

8

质量流量控制系统

MFC Range

0-200sccm

9

操作方式

Mode of operation

全自动运行系统，一键启动

Fully auto operation system, One-key starting