型号

B600

B600S

稀释系统

稀释原理

质量流量控制器(MFC)/动态稀释法

流量精度

±0.8% 设定点(流量> 30% FS)

±0.5%FS(流量≤ 30% FS)

± 0.6% RD 或 ± 0.1% FS(取*大值)

流量重复性

±0.2% FS

±0.2% FS

稀释比

1:1~1:1000(可定制)

1:1~1:10000(可定制)

响应时间

≤ 600 ms

≤ 100 ms

预热时间

≤ 5 min

≤ 1 min

稀释气流量范围

0~10 SLPM

·可选范围

0~5 SLPM / 0~20 SLPM(其他量程)

标准气流量范围

0~100 SCCM

·可选范围

0~50 SCCM / 0~200 SCCM / 0~500 SCCM(其他量程)

管路材质

316L不锈钢/PFA /PTFE

标气输入端口

4

稀释气输入端口

1

校准气输出端口

1

废气输出端口

1

电气指标

供电要求

200~240V，50/60Hz

工作功率

≤ 50 W

通信指标

通信接口

1×Ethernet：10/100Base-T

1×RS485

1×USB

2×RS232

通信协议

Modbus-RTU(RS232 和 RS485)

物理指标

工作温度范围

0 ~ 50℃

-10 ~ 60℃

工作湿度范围

20 ~ 90%RH(无冷凝)

存储温度

-20 ~ 85℃

尺寸

560×482×133 mm(长 × 宽 × 高)(含把手)

重量

15 kg