主要参数

参数范围

分辨率

准确度

大气采样流量

（0.1～1.0）L/min

0.1L/min

优于±2.5%

氟化物采样流量

（16.7～110）L/min

0.1L/min

优于±2.5%

流量稳定性

/

优于±2.0%

流量重复性

/

优于±2.0%

计前压力

（-35～35）kPa

0.1kPa

优于±2.0%

大气压

（60～120）kPa

0.1kPa

优于±0.5kPa

温控范围

（15～30）℃

1℃

优于±1.5℃

工作温度

(-30～50) ℃

工作电源

AC220V±10% 50Hz

噪声

＜68dB(A)

功耗

＜200W

外形尺寸

340mm×280mm×265mm

整机重量

约6.6kg