薬液・溶剤用脱気モジュール 脱気膜にPTFEを採用した、接液部がすべてフッ素樹脂製の脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。 主な用途 半導体・LCD製造プロセスで用いる液体の脱気、脱泡（各種レジスト、シンナー、薬液など） 溶剤系ジェットインクの脱気 PFFの脱気メカニズムは、四フッ化エチレン樹脂（PTFE）製のチューブ状の気体透過膜を介して、液体に溶解している気体を除去することです。具体的には上図に示すようにチューブの外側を真空にすることにより、チューブ内外の気体の分圧差によってチューブ内を流れる液体から溶解している気体を除去します。 脱気率 圧力損失 上記データは水にて測定した参考データです。実際にご使用になる液体の種類によってはこれらのデータと大きく異なる場合がありますのでご注意ください。 PF-F series 脱気膜にPTFEを採用した、接液部がすべてフッ素樹脂製の脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。 通常タイプ 型式 流量 外形寸法 *耐圧 *高使用温度 接続 接続 mL/min mm MPa ℃ 液体側 真空側 PF-3T-S-F 1 - 20 29×58×86 0.2 40 4×2チューブ出し 4×2チューブ出し PF-03F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8 PF-05F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8 PF-10F 1 - 200 102φ×260 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8 PF-13F 1 - 300 102φ×260 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8 PF-28F 1 - 500 102φ×440 0.294 40 3/8 スーパーピラー Rc 1/8 低圧損タイプ 型式 流量 外形寸法 耐圧 *高使用温度 接続 接続 mL/min mm MPa ℃ 液体側 真空側 PF-13F(T) 1 - 500 102φ×260 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8 PF-26F(T) 1 - 500 140φ×450 0.294 40 10mm スーパーピラー Rc 1/4 ※接続：製品によっては継ぎ手の変更対応可能（ピラー、フランジなど） ※流量：対応流量は選定時の目安です。液体の種類、目標脱気レベルによってはこの流量範囲外でご使用可能。 ※寸法：突起部、継ぎ手を除いた寸法です。詳しくは製品図面にてご確認下さい。 製品一覧 水用脱気・給気 モジュール 界面活性剤対応脱気 モジュール ジェットインク用脱気 モジュール 生化学分析用脱気 モジュール 薬液・溶剤用脱気 モジュール 関連製品 超純水帯電防止装置 eFlow Series