特長 高精度制御を実現 電子冷熱の応答性と当社 自の高精度コントローラにより高精度温調が可能。 超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の性能を*大限発揮させます。 低振動・低騒音 コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に与える振動・騒音の影響を*小限にすることができます。 ▲ ナノサーモ構造図 設定状態表示ランプ 設定値表示部 運転ランプ ON/OFFスイッチ 各種設定キー部 ▲ コントローラ部 用途例 精密加工機 精密計測機 半導体・FPD製造装置 分析機器 精密塗装機 局所空間の精密温調 加工物・計測物の温調 精密加工機のエアーベアリング 三次元測定器のエアースライド 型式 ACU 100-MD 300-MD 600-MD 1000B 2000B 適用流体 圧縮空気 使用範囲 使用圧力範囲（ゲージ圧） MPa 0.2～0.85 0.2～0.83 出口圧力調整範囲（ゲージ圧） MPa 0.05～0.83 - 入口空気温度 ℃ 5～40 15～35 15～30 出口温度設定範囲 ℃ 16～30 15～35 15～40 出口空気流量 L/min 30～130※2 50～390※3 130～600※3 130～1000※3 330～2100 周囲温度 ℃ 18～25 入口空気水蒸気含有量 ℃ 飽和以下 圧力下10℃以下 基本性能 出口空気露点（大気圧下） ℃ -17以下※4 - 出口空気温度制御精度※1 ℃ 設定値±0.01※1 条件 出口設定温度 ℃ 23 入口空気温度 ℃ 5～40 15～28 入口空気圧力（ゲージ圧） MPa 0.7 入口空気流量 L/min 125 375 750 1000 2100 出口空気流量 L/min 100 300 600 1000 2100 パージ空気流量 L/min 25 75 150 0 0 周囲温度 ℃ 25 電気特性 電源 V(Hz) 単相100±10%(50/60) 単相200±10% (50/60) *大運転電流 A 4 5 電源容量 kVA 0.4 0.5 1 遮断器容量 A 10 温度制御方式 ペルチェ式定電流制御（PID制御） 放熱方式 空冷式 除湿方式 中空糸膜式 - 出入口配管接続口径 Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4 外装 塗装色：N5.5/N8.0 機器細目 エアーフィルター / ミクロミストフィルター 膜式ドライヤー / レギュレータ フロースイッチ内蔵※5 フロースイッチ内蔵 質量 kg 28 36 38 35 45 外形寸法 高さ mm 490 510 530 奥行 mm 500 550 600 幅 mm 240 320 320 スクロールできます 出口空気流量、入口空気温度、周囲温度が安定状態で急激な変動がない場合。（入口空気温度勾配：1℃/10min以内） 出口空気圧力が0.4MPa以上の場合、*低出口空気流量は45L/min以上で使用してください。 入口空気圧力が0.25MPa以下のとき、本機内圧力損失により、*大流量は次の様になります。 ACU300-MD：270L/min、ACU600-MD：520L/min、ACU1000B：870L/min 入口空気温度28℃時。 フィルターを搭載しておりますが出口空気ろ過度を保証するものではありません。 空気流量は、圧縮機の吸込状態（大気圧、20℃、65%）に換算した値です。 詳細は 書をご参照ください。 ACU600-MDは受注生産品です。