日本大亚真空DIAVAC真空阀LCAV-40/LCAV-25 特長・用途・目的 特長 ■5ポート2ポジション電磁バルブを介して圧縮 空気によって開閉する自動バルブです ■オプションにてリードスイッチ（電磁的にバルブの開閉位置を検知）の取付けができます 用途 ■各種真空ライン カタログ（PDF） ラインナップ 型式 LCAV-25 呼び径 25 コンダクタンス（L/ｓ） 15 ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) 1.3×10-10以下 バルブシート面差圧(MPa) 0.1 A:ボディ　B:シール部・材質 A:SUS 304　B:フッ素ゴム 圧縮空気圧力(MPa) 0.29～0.49 ライフサイクル 100万回(常温時) ベーキング温度(℃) 70 エアーシリンダー容量(mL) 15 質量(kg) 1.2 型式 LCAV-40 呼び径 40 コンダクタンス（L/ｓ） 45 ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) 1.3×10-10以下 バルブシート面差圧(MPa) 0.1 A:ボディ　B:シール部・材質 A:SUS 304　B:フッ素ゴム 圧縮空気圧力(MPa) 0.29～0.49 ライフサイクル 100万回(常温時) ベーキング温度(℃) 70 エアーシリンダー容量(mL) 30 質量(kg) 2.0 型式 LCAV-50 呼び径 50 コンダクタンス（L/ｓ） 85 ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) 1.3×10-10以下 バルブシート面差圧(MPa) 0.1 A:ボディ　B:シール部・材質 A:SUS 304　B:フッ素ゴム 圧縮空気圧力(MPa) 0.29～0.49 ライフサイクル 100万回(常温時) ベーキング温度(℃) 70 エアーシリンダー容量(mL) 40 質量(kg) 2.5