EBARA荏原ESP-7型压力传感器 产品型号：ESP-7 产品品牌：EBARA 荏原计器制作所 产品简介： ESP-7型压力传感器是使用扩散型半导体的高性能传感器，检测单元的信号通过内部放大电路放大，并在调整期间转换为4至20 mA，然后再发送。 产品介绍. EBARA荏原ESP-7型压力传感器 ■  特点 ●由于使用了扩散型半导体传感器，因此具有的可靠性和耐用性。 ●受压部使用SUS316L不锈钢。 ●即使在50kPa或更低的低压下也具有的稳定性。 ●除空气，水，油等外，它还可用于多种测量。 ● 主要生产ESP-7型传感器，并生产多种应用产品，例如隔膜型和卫生型，适合食品，化学药品和制药等各种应用。 压力传感器的内部结构           工作原理   ■工作原理 流体压力首先由不锈钢隔膜1接收。 压力通过封闭在内部的硅油（2）传输到扩散型半导体传感器，而不会造成压力损失。 在扩散型半导体压力传感器中，将硅基板⑥接合至玻璃台架⑨，并且将其中央部蚀刻成薄的隔膜形状。 传递的压力使隔膜变形，并改变上部形成的压电电阻计⑦。 压电电阻计由小电流驱动，并通过焊线⑤输出与压力成比例的电信号。 电信号由内部电路板的放大电路部分放大，并作为由调节器调节的信号输出，作为4至20 mA的电流输出或1至5V的电压输出。 由于扩散型半导体压力传感器会因温度变化而导致输出变化较大，因此 的压力传感器会根据其各自的特性进行温度补偿。        传感器内部结构           压力单位对照表           SI单位/旧单位指南/压力类型