ekasuga真空兼容静电电位传感器KS-3101 产品型号：KS-3101 产品品牌：日本春日机电 产品简介： 由于减少静电的气体成分在真空中很稀薄，静电引起的生产问题比常压 下更严重，真空兼容静电势传感器使用可承受在真空 中使用的材料和组件，可用于测量真空中产生的静电。用它来确定真空过程中产生静电的原因，并持续监测静电势。 产品介绍. ekasuga真空兼容静电电位传感器KS-3101 大气压和真空下的线性度 该图显示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意电压测量带电板的电位的结果。即使在不同的压力 下（真空下10-3Pa，大气压下10+5Pa），无需校准也能得到相等的测量值。 *此数据为实测值，并非保证值。  使用真空兼容静电势传感器测量对真空室的影响 脱气分析比较 对传感器放出的气体的分析证实，气体的主要成分是水和微量碳氢化合物。由于每个峰值与背景中测量的峰值相同，因此认为它源自 中吸附在传感器表面上的气体。 ●极限真空的比较 排气系统：涡轮分子泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.制造 排气速度：220L/sec(N2) 腔室尺寸：φ300×L 300mm *此数据为实测值，并非保证值。  规格 模型 KS-3101 检测方法 振动表面电位传感器 推荐真空度 10 5 Pa（大气压力）、10 -1至10 -5 Pa 测量范围 HIGH量程：0～±20.0kV（测量距离100mm） LOW量程：0～±2000V（测量距离10mm） 测量精度 ±10%以内 警报 检测传感器故障LED显示 使用 温度0-40℃，湿度65%以下（无结露） 约 130g（不包括电缆和控制盒） 配置要领 真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可延长） 控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆5M，可延长） 控制器：KSD-0110 或 KSD-0120 *真空法兰需客户自备。 作品 控制器 KSD-0110 支持触摸屏和SD卡的高性能型 KSD-0120 强调可见性的简单类型 *请在各自的页面上查看控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 的规格。 各部分尺寸/名称 （1）测量单元（ 2）调零单元（ 3）外壳（不锈钢镜面）（ 4）安装垫片（铁氟龙）（5） 量程选择开关（ 6）运行/故障指示灯 （7）充电指示灯(0, +, -) ( 8) 专用电缆（带连接器）