日本进口新宇宙XP-703DIII 半导体材料气体检测 产品型号：XP-703DIII 产品品牌：日本COSMOS 产品简介： 检测对象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3 检测浓度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm 检测原理 热线型半导体式 采样方式 自动吸引式 应用行业 半导体制造 产品介绍. 日本进口新宇宙XP-703DIII 半导体材料气体检测 测对象气体  半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）  检测原理  热线型半导体式  采样方式  自动吸引式  检测气体名称 砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气  AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2  可检测小浓度 （单位：ppm） 0.2     0.3     0.1        0.5        1.0 检测表示  蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 应答速度  10秒以内  尺寸 W38×H130×D30mm