日本藤仓FUJIKURA精密真空减压阀RV-S-1-2 高精度控制 精度0.13kPa(1mmHg),可以进行反复再现性0.13kPa(±1mmHg)以内的高精度控制。 优异的压力特性 针对进口压力的变化设定压力的变化控制在1.3kPa（10mmHg）以内。 大流量型号 流量可以达到270L/min(normal),大流量的用途可以对应。 良好的应答性 针对出口压力的变化可以敏感的应答。 其他 项目 RV・S-1-2 RV-1-2 RV-1-3 使用流体 空气（真空） 压力设定范围 　kPa（mmHg） -1.3～-100（-10～-750） 精度　 kPa（mmHg） 0.13（1） 反复再现性 　kPa（mmHg） ±0.13（±1）以内 使用温度范围 　℃ 5 ～ 60 流量 　l/min(normal) 200 270 配管连接口径 　Rc 1/4 3/8 支架 標準装備 质量 　kg 0.5 0.65