日本ULVAC爱发科离子源Qulee CGM-IS01 日本ULVAC爱发科离子源Qulee CGM-IS01 日本ULVAC爱发科气体分析仪CGM-051/CGM-052 高压工艺（溅射工艺） Qulee CGM2 系列 CGM2-051 ULVAC 特点・规格 ULVAC的新型工艺气体分析仪/工艺气体监控器(RGA)，同时实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。 它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。 *适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。 特点 显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量 操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作 过程监控不需要差动排气系统・・・可测量1Pa以下、更节省空间 增强检漏功能 可以测量总压力 标准搭载Qulee QCS软件 符合CE 用途 溅射设备的残留气体分析、工艺监测、杂质管理 (H2O) 各种真空设备的检漏 规格 分解能 M/△M=1M(10% P.H.) 型号 CGM-051 CGM-052 质量分离方式 四极型质量分析仪 质量数范围 1～50 amu 检出器 法拉第杯 二级电子倍增管／ 法拉第杯 感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa *小检知分圧 1x10-7Pa 1x10-10Pa *大使用圧力 2Pa 2Pa(FC) 1x10-2Pa(SEM) 线性 1Pa 全压力测量功能 有 一键检漏功能 有/He/H2O/N2/O2/Any gas 电源电压 DC24V±10％　50W *大烘烤 可能温度 (传感器单元连接时) 120℃ *大烘烤 可能温度 (传感器单元移除时) 250℃ 使用温度范围 10～40℃ 接口 Ethernet 软件 Qulee QCS Ver.4.0以降（Windows XP/7适用） 符合标准 CE