日本进口ulvac爱发科UR600多级罗茨干式真空泵 产品型号：UR600 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： 均匀高温分布泵HR 系列泵设计用于保持均匀高温，适用于需要加热泵、加热气管线和/或加热排气管线的应用UR 系列泵能够保持比 HR 系列更高的温度。卓越的氦气泵送能力，封闭式电机，安全且易于维护。电源故障保护泵可承受长达 1000 毫秒的电源中断。卓越的耐腐蚀性内部组件经过特殊处理，具有高表面硬度和耐腐蚀性。这可防止泵内部零件在暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。通讯功能可以导出包括警告和警报在内的泵数据。可进行广泛的泵控制。 产品介绍. 日本进口ulvac爱发科UR600多级罗茨干式真空泵 高温分布均匀。可将CVD、蚀刻工序产生的升华物以气态排出。 特征 均匀高温分布泵 HR 系列泵设计用于保持均匀高温，适用于需要加热泵、加热气管线和/或加热排气管线的应用 UR 系列泵能够保持比 HR 系列更高的温度。 的氦气泵送能力， 封闭式电机，安全且易于维护。 电源故障保护 泵可承受长达 1000 毫秒的电源中断。 的耐腐蚀性 内部组件经过特殊处理，具有高表面硬度和耐腐蚀性。这可防止泵内部零件在暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。 通讯功能 可以导出包括警告和警报在内的泵数据。可进行广泛的泵控制。 应用 CVD 设备 蚀刻设备 灰化设备 ALD、ALH等 规格 模型 UR421-T UR600 UR1200 UR1800 UR3601-TT 泵 决策支持系统 UR421-T UR90 UR90 UR180 UR421-T 骨髓移植 - PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C-T 抽 速 50赫兹 410 立方米/小时 （6833 升/分钟） 653 立方米/小时 （10883 升/分钟） 1012 立方米/小时 (16867 升/分钟) 1701 立方米/小时 （28350 升/分钟） 2700 立方米/小时 （45000 升/分钟） 极限压力 5.0帕 入口压力 大气压*1 排气压力 1.0至大气压Pa 入口直径（CE型） VG100 VG80(NW80) VG100(NW100) VG150(NW100) VG150 出口直径 VG50 NW40 NW50 重量 415公斤 370公斤 403公斤 553公斤 720 公斤 力量 三相 180～240VAC/ 380～440VAC （50/60赫兹） 200 VAC（50/60 赫兹）/220 VAC（60 赫兹） 180～240VAC/ 380～440VAC （50/60赫兹） 当前的 在极限压力下 23 A（200V 时） 16.4A（200V 时） 18.9 A（200 V 时） 29.2 安培（200 伏时） 20.5 安培（400 伏时） 39.8 A（200V 时） 20.5 A（400V 时） 负载时 52.5A（200V 时） 17.3 A（200V 时） 22.4 A（200 V 时） 34.9 安培（200 伏时） 40.5 安培（400 伏时） 68.3 安培（200 伏时） 40.5 安培（400 伏时） 冷却水 供给压力 0.2~0.5兆帕 0.1~0.3兆帕 0.2~0.5兆帕 冷却水进/ 出压差 >0.2兆帕 >0.1兆帕 >0.1兆帕 >0.1兆帕 >0.2兆帕 冷却水流量 >5.0 升/分钟 氮气 供给 压力 0.1~0.5兆帕 压力调节 0.05~0.1MPa N2 吹扫 轴吹扫 5 级 气镇流器 0~195 秒 0~45秒 0~195 秒 0~195 秒 *1：UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT 均应在 200Pa (1.5 Torr) 以下运行。 * 如果 需要此规格列表中未列出的 UR 系列，请与 联系。