日本进口ulvac涡轮分子泵 UTM-MS系列 产品型号：UTM-MS 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： 这是带有使用磁力轴承的 立控制器的涡轮分子泵。 拥有一系列抽速为 300 至 4000L/s 的型号。控制器部分可以监控运行状态并兼容各种通信标准。特征泵体和控制器是分开的，控制器可以监控运行状态，并兼容各种通信标准。自由安装方向由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。产品阵容包括抽速 300L/s 至 4000L/s泵转速可在25%至100%范围内变化，腔室压力可调节。高耐用性和安全性通过了各种安全确认测试，包括大气进入测试和着陆测试。目的各种设备的真空主排气系统半导体制造设备气相沉积设备溅射设备分析设备、实验设备等研发设备不产生副反应产物的轻工艺主排气系统其他一般高真空排气应用 产品介绍. 日本进口ulvac涡轮分子泵 UTM-MS系列 模型 UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS 进气口 VG100/ICF152 VG150/ICF203 VG200/ICF253 排气口 KF25 KF40 冷却方式 水冷 风冷 水冷 风冷 水冷 风冷 水冷 风冷 极限压力*1 帕 10 -7 10 -8 排气速度*2 氮气 升/秒 320 第420章 800 1080 氩气 升/秒 - 他 升/秒 340 360 800 930 氢2 升/秒 320 340 700 第790章 压缩率 氮气 1×10 9 他 8×10 4 氢2 1×10 4 4× 103 入口压力*3 帕 200 1.3 200 1.3 400 1.3 400 1.3 排气口压力*3 帕 400 40 400 40 第665章 40 第665章 40 转数 转速 45000 35000 启动时间 5分钟内 安装方向 可全方位安装 表面处理 镀镍 冷却水 流量 升/分钟 1～3 - 1～3 - 1～3 - 1～3 - 水压力 兆帕G 02～0.5 - 02～0.5 - 02～0.5 - 02～0.5 - 噪音 分贝(A) 60 公斤 14 33 32 推荐辅助泵 200L/分钟以上 500L/min以上 控制器 作品 单 放置 输入功率 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） 所需功率 千伏安 0.55 1.0 变速功能　 运行速度可在泵速度的 25% 至 之间变化（以 0.1% 增量设置）　 外部控制 接点输入/输出 RS-232C/RS-485 公斤 8 *1：表示顺序。 *2：不含保护网的值。 *3：进气口压力和排气口压力条件不能同时满足。 表2 模型 UTM1300A-MS UTM1500A-MS UTM2400A-MS UTM3400A-MS UTM4300A-MS 进气口 VG200/ICF253 VG250 VG300 / VG350 VG350 排气口 KF40 冷却方式 水冷 极限压力*1 帕 10 -7 排气速度*2 氮气 升/秒 1300 1500 2100 3200 4400 氩气 升/秒 - 2000年 3100 4200 他 升/秒 1050 1200 2240 3100 - 氢2 升/秒 750 800 1770 2200 2600 压缩率 氮气 6×10 8 1×10 9 他 1×10 4 7×10 4 1×10 5 3×10 4 氢2 1×10 3 3×10 3 6× 103 2×10 3 入口压力*3 帕 133 40 排气口压力*3 帕 270 270 转数 转速 30300 27000 27600 24000 启动时间 7分钟内 11分钟内 12分钟内 18分钟内 安装方向 可全方位安装 表面处理 镀镍 冷却水 流量 升/分钟 1～3 2～4 水压力 兆帕G 02～0.5 噪音 分贝(A) 60 57 60 公斤 39 42 70 84 105 推荐辅助泵 600L/min以上 1300L/min以上 1500L/min以上 控制器 作品 单 放置 输入功率 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） 所需功率 千伏安 1.0 1.5 变速功能　 运行速度可在泵速度的 25% 至 之间变化（以 0.1% 增量设置）　 外部控制 接点输入/输出 RS-232C/RS-485 公斤 8