日本螺杆式干式真空泵 MS系列 多发性硬化症MS120A 产品型号：MS120A 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵，在传统LS 系列的基础上改进了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。 特征 对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理，具有较高的耐腐蚀性。 ULVAC 特的螺杆式转子轴设计实现了高粉末排出性能。 可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。 目的 电子零件、半导体制造设备用真空排气系统 蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等 真空热处理炉、真空抽气系统 烧结炉、渗碳炉等。 锂电池制造设备真空排气系统 电极干燥设备、消泡设备、注液设备等 及食品相关设备真空排气冷冻干燥设备 、真空干燥设备等。 *MS1200A 可单 购买，并添加控制板和传感器。请联系 。 产品介绍. 日本螺杆式干式真空泵 MS系列 多发性硬化症MS120A 模型　 MS120A MS600A MS1200A 抽速*1 立方米/小时 115 第560章 980 极限压力 帕 ≤0.6 ≤0.1 电源电压 三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10% 大约功耗*2 千瓦 2.4 3.1 3.1 冷却水量 升/分钟 >4.0 吹扫气体量*1 可持续发展管理 0~50 水蒸气处理量 *1*3 公斤/小时 1.5 噪音值*2 分贝(A) 61 62 64 进气口 KF50（卧式）/VG50（立式） ISO-F-80 ISO-F-100 排气口 KF40 质量*4 公斤 139 第241章 264 兼容标准 CE、cTUVus 标准配件 快速说明书、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器护罩、专用消音器1套 车身选项 电源电压：200V级或400V级 密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟橡胶（FFKM） 外部选项 底盘排气口、防震夹具、LR兼容单元（进气口、信号）、吹扫气阀 *1：典型值 *2：极限压力 *3：使用吹扫气体时的水蒸气处理量。 *4: 包括消音器 排气速度曲线 MS120A MS600A MS1200A