日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P 产品型号：CRYO-U20P 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵，可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 适用于大型沉积系统和其他生产设备。 适用于批量型大型沉积系统。 产品介绍. 日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P 抽速(20℃) 氮 升/秒 10,000 氢 18,000 氩气 8,400 水 29,000 极限压力 帕(托) 10 -7 (10 -9 ) 流速 氩气 帕・升/秒(托・升/秒) 1.1×10 3 (8.7) 氢 5.0×10 2 (3.7) 泵送能力 氩气 帕・升(托・升) 5.8×10 8 (4.4×10 6 ) 氢 4.6×106 （ 3.4× 104） 冷却时间 （电源循环） 小值(Hz) 180/160(50/60) 安装法兰 UVG-500 压缩机组 C30VRT 重量 公斤 69.0