日本进口ulvac爱发科低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U22WB 产品型号： CRYO-U 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵，可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。 产品介绍. 日本进口ulvac爱发科低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U22WB 抽速(20℃) 氮 升/秒 13,000 氢 16,500 氩气 11,000 水 39,000 极限压力 帕(托) 10 -7 (10 -9 ) 流量 氩气 帕・升/秒(托・升/秒) 3.5×10 3（26） 氢 1.3×10 3 (9.6) 泵送能力 氩气 帕・升(托・升) 8.1×10 8 (6.1×10 6 ) 氢 8.5×10 6 (6.4×10 4 ) 冷却时间 （电源循环） 小值(Hz) 165/150（50/60） 安装法兰 UVG-550 压缩机组 C30PMVRT ×1 重量 公斤 125.0 *保养间隔：16,000小时