日本进口涡轮分子泵 UTMｰB系列 移动式 爱发科 产品型号：UTMｰB 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： 采用陶瓷球轴承的复合涡轮分子泵，具有优异的压缩比。采用集成控制器设计，结构紧凑。优异的高背压性能允许使用较小的前级泵。 特征 自由安装安装方向不受限制由于安装方向自由，因此 系统设计的自由度较高。 板载控制器 集成控制器能够减少线路工作并缩小泵送系统的尺寸。 高压缩比和高背压 高压缩比使得泵可以在高背压下运行并缩小其 前级泵的尺寸。 三种法兰 进气口法兰可从ISO-K、ICF、VG中选择。 清洁的真空 泵运行和停止时碳氢化合物气体的回流更少。 低噪音 无负载时噪音水平≤48dB（配ISO63-K法兰） 应用 分析设备、研发系统、实验装置等的主泵系统。 蒸发器、溅射系统等的主泵送系统。 主泵系统抽空 H2、He 等低分子气体 产品介绍. 日本进口涡轮分子泵 UTMｰB系列 移动式 爱发科 冷却方式自然 风冷强制 风冷自然 风冷强制 风冷法兰尺寸入口 *1VG65、ICF114、ISO063-KVG100、ICF152、ISO100-K出口KF16KF16抽气速度 （不带 防护网）氮气70 升/秒280 升/秒他60 升/秒270 升/秒氢气49 升/秒220 升/秒极限 压力 *2烘烤后- *310 -8帕斯卡- *310 -8帕斯卡烘烤前10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡压缩率氮气： >1×10 9，氦气：4×10 7，氢气：4×10 5氮气： >1×10 9，氦气：7×10 6 ，氢气：1×10 5 入口压力 *4, *5, *6氮气0.43帕斯卡1.1帕斯卡0.06帕斯卡0.7帕斯卡 出口压力 *4, *5, *7氮气300帕900帕100帕1000帕连续 运行 流量*8无需 气体吹扫氮气15标准立方厘米*940标准立方厘米*910标准立方厘米*10100标准立方厘米*10无需 气体吹扫应收账-10标准立方厘米*9-30标准立方厘米*10带 气体吹扫-15标准立方厘米*9-40标准立方厘米*10推荐使用前级泵 （抽真空 10SCCM 时） *11>60升/分钟>120升/分钟重量VG：3.3公斤, ISF：3.0公斤, ISO：5.0公斤6.0公斤 / 9.0公斤6.3公斤 / 9.3公斤旋转速度87000转60000转启动时间（80%） (DC24V.背压5Pa以下）1.7 分钟3.5 分钟表面处理*12没有任何安装方向自由方向噪音 *13<48分贝(声级)<50分贝(声级)控制器输入电源DC24V±5%, 120WDC24V±5%, 180W接点输入 输出信号远程（D-sub 15 针公头） 数字输入：4 点。输出：4 点。模拟输出：1 点。串行通信RS-485（D-sub 15 针公头，与 REMOTE 共享）LED显示屏电源、正常、报警转变开始/停止、重置可变旋转频率/速度运行转速数 可在 泵规格的 25% 至 之间以 0.1% 的步长进行更改。异常操作 检测检测报警、警告。保护电路表示报警、警告。标准配件使用说明书(CD-R)、防护网(仅VG和ICF， 垫圈内置有ISO法兰防护网)、 垫圈(入口法兰)、防尘盖(用于入口、出口和连接器)适用标准CE、TUVus