日本Tokyo Keiso东京计装流量传感器VF-3022-P01 VF-3000是NewPFA制造的涡街流量传感器。 凭借其简单清洁的结构，它是半导体制造过程中超纯水、水、低粘度化学品等流量控制的理想选择。 特征 · 结构简单，成本低 · 流速从低至 0.3 升/分钟到高达 150 升/分钟 · 采用新型PFA阀体的清洁结构 · 0.3~2.5、0.5~4、15~150L/min是PFA结构的O型无圈接液部件。 · 超紧凑轻便，非常适合嵌入设备中 · 高可靠性卡尔曼涡旋检测方法 · 免维护 · 低压降 · CE标志 主要规格 测量流体 超纯水、纯水、水、低粘度化学品 流体温度 0 ~ 90°C 流体压力 0 ~ 0.5 兆帕 流量范围 VF-30□0 0.3 ~ 2.5升/分钟 VF-30□1 0.5 ~ 4升/分钟 VF-30□2 2 ~ 16升/分钟 VF-30□3 4 ~ 40升/分钟 VF-30□5 15 ~ 150升/分 精度 ± 3% F.S. 材料 身体： 新PFA 管： 新PFA 关节： PFA 或 NewPFA 涡旋探测器： 压电元件（用新PFA模制） O型圈： 全氟橡胶 （PF） 或无 O 形圈（传感器焊接结构，仅限 VF-30□0、VF-30□1、VF-30□5） 过程连接 PFA 管端或各种接头 连接管尺寸 VF-30□0 3/8“ VF-30□1 3/8” VF-30□2 3/4“ VF-30□3 3/4” VF-30□5 1” 输出 电流： VF-301□ 直流4-20mA （3线式） 脉冲： VF-302□集电极开路脉冲（未缩放） 电流和报警： VF-303□ DC4-20mA （3线式），2点/ 立设置/显示：3位LED 权力 直流10.8 ~ 26.4V、0.5 ~ 2W 信号线 3 芯或 5 芯 3m 防护等级 IP64 （JIS C0920 防睫毛结构）