电容隔膜计M-342DG 电容式压力计M-342DG是一种膜片式压力计，可实现精 确、稳定的压力测量，并具有*小的零点调整。 这是使用小型硅MEMS芯片作为压力传感器单元来实现的，以*小化来自外部 的影响，例如温度、振动和大气压力的变化。 日本CANON佳能真空计M-342DG-11-N16 特征 高精度、稳定的压力测量 ・卓越的零点稳定性。 ・具有低的温度依赖性，在不需要温度调节机构的情况下提供优异的稳定性。 调整机制。 ・卓越的抗振动噪音性能。 结构紧凑，功耗低 ・200g，W46mm×H49mm×L70mm紧凑，重量轻。*1 ・功耗0.5W。 *1:联轴器尺寸和重量NW16规格 应用 除了半导体制造设备、面板显示器制造设备和其他真空设备外，还支持广泛的通用行业应用，如 和食品。*2 *2：不适用于使用腐蚀性气体的应用场合。 详情请咨询 。 规格 M-342DG型 -1D-1N-11-12-13 满刻度压力（Pa）13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k （托）0.1 1 10 100 1000 准确度（读数的%） 0.20（23℃时） 零温度 漂移系数（F.S./℃的%）0.01 0.005 0.002 量程温度 漂移系数（读数%/℃）0.01 0.005 分辨率（满刻度的%）0.01 0.005 *低读数（满刻度的%）0.01 的*低建议压力 读数（满刻度的%）0.05 的*低建议压力 控制（满刻度的%）0.5 响应时间（毫秒）100 30 压力极限（Pa）200 kPa（绝 对压力）但是，对于M-342DG-1D（对于NW16和NW25，内部区域不得处于 正压） 输入电压（VDC） +13.5 - 26.4 功耗（W）0.5或更低 信号输出（VDC）0至10 工作温度（℃）0-50 储存温度（℃） -20至70（不工作） *大电缆长度（m） 100 (0.3㎟) 零点调整方法 遥控输入按钮开关 连接器类型 D-sub 9针外螺纹（配对螺钉：#4-40英寸） 暴露在真空中的材料 硅，玻璃，SUS304，sus316，氟橡胶 法兰形状 NW16、NW25、8-VCR、φ70ICF 符合CE标志、RoHS、IP40 安全出口管制条例不适用 陈列 M-601GC（1ch）、M-603GC（3c） 尺寸 电容隔膜计M-342DG Parts Number Parts Number Model Description Remarks Code 0160-12049 M-341DG-1D-N16 Capacitance Gauge (13.3Pa) Coupling: NW16 22735 0160-12057 M-341DG-1D-N25 Coupling: NW25 22736 0160-12065 M-341DG-1D-C70 Coupling: φ70ICF 22737 0160-12073 M-341DG-1D-VCR Coupling: 8-VCR female 22738 0160-11645 M-341DG-1N-N16 Capacitance Gauge (133Pa) Coupling: NW16 22710 0160-11653 M-341DG-1N-N25 Coupling: NW25 22711 0160-11661 M-342DG-1N-C70 Coupling: φ70ICF 22712 0160-11679 M-342DG-1N-VCR Coupling: 8-VCR female 22713 0160-11459 M-342DG-11-N16 Capacitance Gauge (1.33kPa) Coupling: NW16 22715 0160-11467 M-342DG-11-N25 Coupling: NW25 22716 0160-11475 M-342DG-11-C70 Coupling: φ70ICF 22717 0160-11483 M-342DG-11-VC8 Coupling: 8-VCR female 22718 0160-11140 M-342DG-12-N16 Capacitance Gauge (13.3kPa) Coupling: NW16 22720 0160-11158 M-342DG-12-N25 Coupling: NW25 22721 0160-11077 M-342DG-12-C70 Coupling: φ70ICF 22722 0160-11166 M-342DG-12-VC8 Coupling: 8-VCR female 22723 0160-11093 M-342DG-13-N16 Capacitance Gauge (133kPa) Coupling: NW16 22725 0160-11108 M-342DG-13-N25 Coupling: NW25 22726 0160-11116 M-342DG-13-C70 Coupling: φ70ICF 22727 0160-11124 M-342DG-13-VC8 Coupling: 8-VCR female 22728