カーボンコーターは、走査電子顕微鏡などの元素分析用の試料に、カーボン蒸着を行う試料作製装置です。 特長 蒸着源には高純度の専用カーボン棒を使用しており、不純物の少ない膜が仕上がります。 カーボン棒をクリップ状の電極に簡単にセットすることができます。 試料台の高さを調整することで膜厚を調整できます。 ・オプション 使用圧力 20 Pa以下 排気速度 3 Paまで10分以内(試料が無い場合) カーボン電極 1組 蒸着源 専用カーボン棒(直径 1mm) 試料台 直径 64 mm 蒸着源-試料台距離 135~165 mm ベント時間 30秒 排気系 直結型ロータリーポンプ 135 L/min 過温度保護機能組込み サービスコンセント 1個 AC100V 1A (試料回転傾斜装置用)
日本电子工业JEOL碳精涂布机EC-32010CC
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