标准质量流量控制器型号 3660 系列 + 专用读数装置 + 专用电缆科夫洛克3660-1/4SW-N2-100SCCM-20℃+CR-400B+CP-STD1-1M

标准质量流量控制器型号 3660 系列 + 专用读数装置 + 专用电缆科夫洛克3660-1/4SW-N2-100SCCM-20℃+CR-400B+CP-STD1-1M这是氮气（N2）的质量流量控制器。流速由内置电磁阀执行器控制。通过连接专用读数单元CR-400B，可以设定和显示流量，也可以采用AC100V供电。应用：从大学和研究机构的研发应用，到作为各种分析仪器和真空装置的标准设备，这些产品都有着丰富的业绩记录。适用流体：氮气（N2） 规格： 流量设定信号：0～5 VDC（输入阻抗1MΩ以上） 流量输出信号：0～5 VDC（负载电阻250kΩ以上） 套装内容：标准质量流量控制器、小型读数单元、仪表电缆：D-sub 9针，两端各1m 材质： 接触气体部分：SUS316L、SUS316、磁性不锈钢、FKM 电源：15 VDC（±5%）100mA、-15 VDC（±5%）250mA 传感器类型：热绕线传感器 重复精度：±0.5%FS 耐压（MPa）：1 保存温度（℃）：-10～60 湿度（%RH）：10～90（无结露） 允许 温度（℃）：5～45 Z大入口压力（kPa）：500 阀门类型：比例电磁阀（不使用时关闭）通电） 电气连接：D-sub 9针、KFC规格（符合SEMI规格） 泄漏率（Pa・m
³/秒） 1×10
^-8以下 内容 1套 产品型号：3660-1/4SW-N2-100SCCM-20℃+CR-400B+CP-STD1-1M 质量（g）：约。 1000 精度：±1%FS（25℃） 温度系数：±0.1%FS/℃（15～35℃） 工作差压（kPa）：50～300 响应：2秒以内（±2%FS以内）