,质量流量控制器 1/4SW 500SCCM N2,
产品规格
| 模型 | EX-250S-C |
|---|---|
| 电源电压 | ±15V |
| 流体 | 氮气 |
| F.S.流量 | 500SCCM |
| 校正温度 | 20℃ |
| 输入信号 | 电压输入 |
| 输出信号 | 电压输出 |
| 工作压力 | 150~300kPa |
| 传感器方式 | 热线绕传感器 |
| 阀门方式 | 比例电磁阀（断电时关闭） |
| 目标气体 | 氮气 |
| 流量范围 | 500SCCM |
| 控制范围 | 2~100%(满量程) |
| 反应能力 | 总流量控制范围：1秒以内（±2%F.S.以内）、150kPa~300kPa |
| 精度 | ±1.0%满量程 |
| 再现性 | ±0.2%F.S. |
| 工作压差 | 50~300kPa |
| *大入口压力 | 500kPa(重力) |
| 耐压性 | 980kPa(气压) |
| 他漏了箱子 | 1×10-⁸Pa・m³/sec以下 |
| 允许 温度 | 5~50℃ |
| 精度保证温度 | 15~35℃ |
| 允许储存温度 | -10~60℃ |
| 允许 湿度 | 10~90%RH（无凝露） |
| 气体接触部件 | SUS316、SUS316L、磁性不锈钢（仅控制器）、PTFE、FKM |
| 电气连接 | Dsub9 针 RJ45 连接器 x 2 |
| 流量设定输入信号 | 0~5VDC（输入阻抗约1MΩ） |
| 流量出力信号 | 0~5VDC(负荷抵抗 10k Ω以上) |
| 数字信号 | 通过RS485旋转开关设置地址 |
| 所要电源(DC) | +15VDC(±5%)100mA以下、-15VDC(±5%)150mA以下or+24VDC(±10%)180mA以下 |
| 配件 | 1/4SWL(127.4) |
| 安装位置 | 建议水平方向 |
| 重量 | 500克 |
| 数量 | 1个 |
,0299562343
