产品详细内容
产品型号: 4-1528-01
产品品牌: MSA FACTORY
功能
- 统一加热晶片和玻璃基板等超薄工件。
- 工件可通过真空抽吸固定。
- 使用附带的温度控制器可以进行精确的温度控制。
规格
- 板材尺寸:Φ4英寸
- 表面处理:黑色矾土
- > 热卡盘零件<
- 可笑尺寸:Φ2至4英寸
- 温度控制范围:R.T.至200°C
- 温度精度:±1.5%
- 电源容量:400 W
- 尺寸:140 x 170 x 50.5公厘
- 重量:约3公斤
- > 温度控制器<
- 电源:AC100V 50/60 Hz
- 尺寸:98 x 156 x 101公厘
- 重量:约1.3公斤
- *需要单 的真空泵(推荐的泵示例:1 -9197-02隔膜式干真空泵DAP -12 S)。
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