产品详细内容
产品型号: 1-3167-02
产品品牌: AS ONE Corporation
功能
- 这是一种流量控制器,用于在气体更换期间调节引入气体的压力和流量,以确保气体被引入。
- 可以同时控制3个单元 (FMC -1) 或4个单元 (FMC -2) 。可容纳多个气室或多个干燥器。
规格
- 类型:四
- 尺寸 (公厘) :280 x 133 x 190
- > 调压阀<
- 目标气体:Ar、N2、O2、CO2、He、Air、C2H2、1Type
- 一次压力: 大约0.98 MPa (10 kg/cm 2)
- 流量:30 L/ 大
- 二次压力:0至约。0.49 MPa (0-5kg/cm2)
- 连接管外径:Φ6mm > 总流量<
- 流量:10 L/ 小
- 电压:约。0.69 MPa (7kg/cm 2)
- 耐热温度:60°C时为MAX
- 连接管外径:Φ6mm
- 外壳:PMMA (丙烯酸)
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