simco日本思美高进口5225 型AeroBar棒式离子发生器 产品型号：5225 型AeroBar 产品品牌：SIMCO 静电测试仪 产品简介： ■单晶硅电极在全球范围内拥有无与伦比的 采用记录，由于其超低颗粒特性和电极材料，避免了金属污染的风险 。 通过安装 5200-SR 外部电极静电消除目标附近的传感器（选件），可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制，而不是离子发生器本身（连接5200-SR）如果没有，离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.) ■根据半导体前端工艺的EFEM设定棒的长度 ■离子​​发生输出、离子发生时间、警报阈值等 参数范围广 通过使用 进行设定，可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流 ■只需通过数字输入参数即可获得高再现性，并且可在短时间内完成设置 ■除了简单的报警 IO 外，还可以使用提供的 DLL 进行实时监控免费，有助于掌握工艺设备内部状态。 产品介绍. simco日本思美高进口5225 型AeroBar棒式离子发生器 日本思美高静电测试仪5225S AeroBar 型用于超洁净 立安装 ■单晶硅电极在全球范围内拥有的 采用记录，由于其超低颗粒特性和电极材料，避免了金属污染的风险 。 通过安装 5200-SR 外部电极静电消除目标附近的传感器（选件），可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制，而不是离子发生器本身（连接5200-SR）如果没有，离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.) ■根据半导体前端工艺的EFEM设定棒的长度 ■离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等 参数范围广 通过使用 进行设定，可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流 ■只需通过数字输入参数即可获得高再现性，并且可在短时间内完成设置 ■除了简单的报警 IO 外，还可以使用提供的 DLL 进行实时监控免费，有助于掌握工艺设备内部状态。 输入电压 24V AC，50/60Hz，1W（典型值）由 IM6T 提供。 沟通形式 RS485（IM6T 和 5225 之间） 输出电压 0kv 至约+/-20kv 输出形式 脉冲直流模式、稳态直流模式（可选） 输出电流 内置<15microA电流和电压限制电路 连接接头 RJ11，4极4芯 离子发生时间 小0.1秒，10秒 可分别设置正负 电极 单晶硅电极可更换 臭氧产生量 <0.005ppm（24小时积分测量） 相应洁净度 ISO 1 级，0.1 微米 尺寸 高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 长 569 毫米 (-22)、721 毫米(-28)、 907毫米(-36)、1128毫米(-44)、1412毫米(-56)、1636毫米(-64)、 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84) 重量 -22：每增加长度1.02kg 0.17kg/30cm 外部的 ABS树脂 接口模块型号 5200-IM6T 输入电压 24V 直流+/-5%，1.5A 沟通形式 以太网、RS232C 报警输出 继电器触点（仅限 V4.0 及更高版本） 尺寸 高 74 毫米 x 深 71 毫米 x 长 315 毫米 重量 2公斤