日本进口爱发科ULVAC螺杆式干式真空泵MS120A 产品型号：MS120A 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵，在传统LS系列 的基础上，作为耐腐蚀型，提升了耐粉尘排气性能，是针对使用腐蚀性气体和粉尘排气工艺而设计的机型。 特征 对转子轴、气缸等主要部件进行特殊涂层处理，提高耐腐蚀性能 采用ULVAC 特设计的转子轴，实现高性能排粉 实现接近大气压的连续抽气 应用 半导体和电子设备制造设备的真空系统，用于 蚀刻、灰化、等离子清洗等。 烧结、渗碳等炉的真空系统。锂离子电池制造设备的真空系统电极干燥、脱气、真空注射等。 和食品用真空系统冷冻干燥、真空干燥等。 产品介绍. 日本进口爱发科ULVAC螺杆式干式真空泵MS120A 模型 MS120A MS600A MS1200A 抽气速度*1 立方米/小时 115 560 980 极限压力 帕 ≦0.6 ≦0.1 电源 200V级：3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V级：3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% 功耗*2 千瓦 2.4 3.1 3.1 冷却水流量 升/分钟 >4.0 吹扫气体流量*1 空间光调制器 0~50 耐水蒸气性*1*3 公斤/小时 1.5 噪音 *2 分贝(声级) 61 62 64 进气口 KF50(卧式) / VG50(立式) ISO-F-80 ISO-F-100 出水口 KF40 重量 *4 公斤 139 241 264 适用标准 CE、cTUVus 标准附件 快速手册、电源连接器、防水电缆夹、遥控连接器、电源连接器防护罩、消音器 泵头选项 电源：200V级或400V级 密封材质：FKM或FFKM 外部选项 包装排气口、防震支架、LR 兼容单元（入口、远程）、吹扫气阀 *1：参考值 *2：极限压力（仅供参考） *3：水蒸气耐受量为使用吹扫气体时的值。 *4：包括消音器