日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 爱发科 产品型号：CRYO-U12HSP 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵，可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 氩气的抽真空能力约为标准型号（U12H）的两倍。 氢气排气量约为标准型号（U12H）的1.5倍。 播放间隔变得更长，有助于提高设备的可用性。 产品介绍. 日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 爱发科 抽速(20℃) 氮 升/秒 4,100 氢 6,000 氩气 3,400 水 9,500 极限压力 帕(托) 10 -7 (10 -9 ) 流速 氩气 帕・升/秒(托・升/秒) 2.0×10 3 (15.0) 氢 4.1×102 （ 3.1） 泵送能力 氩气 帕・升(托・升) 4.4×10 8 (3.3×10 6 ) 氢 1.6×10 6 (1.2×10 4 ) 冷却时间 （电源循环） 小值(Hz) 90/80(50/60) 安装法兰 UVG-300,10 B 标准 压缩机组 C30VRT 重量 公斤 四十二 *维护间隔：16,000小时 可移动底座为选配