日本Mitutoyo(三丰)SV-3000CNC/SV-M3000CNC表面粗糙度测量仪产品参数：
| X1轴(驱动部) | 测量范围 | 200mm | |
| 分辨力 | 0.05um | ||
| 长度基准 | 反射型线性编码器 | ||
| 驱动速度 | CNC型 | 大200mm/s | |
| 操纵杆型 | 0.60mm/s | ||
| 测量速度 | 0.02, 0.05, 01,02.05. 10.20m5 | ||
| 测量方向 | 向后 | ||
| 直线度 | 0.5um/200mm | ||
| Z2轴(立柱) | 行程范围 | Z2轴(立柱，S型) | |
| Z2轴(立柱，H型) | |||
| 分辨力 | 0.05um | ||
| 长度基准 | 反射型线性编码器 | ||
| 驱动速度 | CNC型 | 大200mm/s | |
| 操纵杆型 | 0.60mm/s | ||
| 基座尺寸(WxD) | 750x600mm | ||
| 基座材料 | 花岗岩 | ||
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